ナノインプリント装置

ナノインプリントは微小なパターンを形成するために、ナノサイズのパターンが形成されたモールドをレジストに転写することにより実現するプロセスです。
当社では、ウェハーからG5サイズの大型パネルまで、ナノインプリントを形成する装置を提供できます。これらの装置では、真空中でのインプリントを行うことにより、複雑なパターンでもボイドレスを実現します。
ナノインプリントの応用例としては 偏向などの光改質関連、微小回路パターンの形成、バイオ関連、ディスプレイ関連 など、多岐に亘った用途が提唱されています。これら以外にも、それぞれの用途に応じたソリューションを提案させて頂きます。