マクロ検査装置

(表面検査装置、欠陥検査装置)

薄板状ワークのマクロ表面検査を高精度かつ高速度で行う装置です。ワークは透明体/半透明体/非透明体を測定可能で、シリコンウェハー、各種化合物ウェハーなどを対象とします。
エッジ反射光、ミー散乱を利用した独自の光学系で、超低ノイズ専用ラインセンサカメラと最適化されたテレセントリシティ光学系により、マクロ最高レベルの高感度を実現しています。
ナノメーターオーダーの微小な表面欠陥観察の他に、膜厚ムラなどの観察が可能です。欠陥の分類等のアプリケーションについてはご相談ください。

用途

  • シリコンウェハー表面検査
  • ナノインプリント処理基板の表面検査
  • フォトリソグラフィー処理基板の表面検査
この製品へのお問い合わせ
  • 会社名:
    信越エンジニアリング株式会社
  • 部署名:
    システム機器事業部 システム機器部
  • Email:
    systeminfo@see.jp