薄板状ワークのマクロ表面検査を高精度かつ高速度で行う装置です。ワークは透明体/半透明体/非透明体を測定可能で、シリコンウェハー、各種化合物ウェハーなどを対象とします。
エッジ反射光、ミー散乱を利用した独自の光学系で、超低ノイズ専用ラインセンサカメラと最適化されたテレセントリシティ光学系により、マクロ最高レベルの高感度を実現しています。
ナノメーターオーダーの微小な表面欠陥観察の他に、膜厚ムラなどの観察が可能です。欠陥の分類等のアプリケーションについてはご相談ください。