レーザデボンド洗浄装置

(パネル洗浄装置、パネルクリーナー)

テンポラリボンディング層をレーザで剥離した後に用いられるウェット洗浄装置です。
レーザ照射後の煤の除去を行うとともに、テンポラリ樹脂層/接着層の除去をウェット洗浄の工程で行います。除去対象の樹脂に応じた様々な溶剤に対応します。
テンポラリボンディング層除去に最適な独自の洗浄メカニズムにより、通常のパネル洗浄に比べて短時間での除去を実現します。
また、独自のフィルタリングシステムの採用により使用する溶剤を循環使用することができ、低コストでの洗浄を実現します。

シリーズ名称

  • SELD-Cleanerシリーズ

用途

  • 半導体パッケージング形成 テンポラリボンディング工程
  • 半導体再配線層(RDL層)形成 テンポラリボンディング工程
  • 超薄型半導体形成 テンポラリボンディング工程
  • その他 テンポラリボンディングを伴う工程

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この製品へのお問い合わせ
  • 会社名:
    信越エンジニアリング株式会社
  • 部署名:
    システム機器事業部 システム機器部
  • Email:
    systeminfo@see.jp