X線バンプボイド検査装置

ウェハー上のバンプを自動で検査、判定を行うX線自動検査装置です。
ウェハー内部のボイド(気泡)をX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの直径(面積)を求め、基準以上のボイドについての良否を自動判定検査します。
X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、高精度ボイド検査が可能です。