X線バンプボイド検査装置

ウエハー上のバンプを自動で検査、判定を行うX線自動検査装置です。
バンプ内部ボイド(気泡)をX線を用いて透過撮影し、その画像からボイドの直径(面積)を求め基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査します。
X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、高精度ボイド検査が可能です。

用途

  • バンプ内のボイド検査
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    信越エンジニアリング(株)
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    システム機器事業部 システム営業部
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