FPDパネル 真空重ね合わせ装置(SE-LCASV)

2枚の板状基板を、真空中で高精度に重ね合わせる装置です。LCD、OLEDなどのパネル製造工程に適用することができます。
対応可能なサイズは G11までで、独自のパネルチャッキング機構、精密アライメント機構、画像処理機構の採用により、1[Pa]以下の高真空下で 繰返し 1[um]以下の高精度な貼合せを実現します。