2枚の板状基板を貼合せた後、これらのずれ量を検査する装置です。パネルの四隅に設けられたマークのずれ量だけでなく、パネル内に配置された各セルのマークずれ量を高速で検査することができます。
また、お客様のご要望に応じてシール幅なども測定することが可能です。
対応可能なサイズは G8までで、独自の画像処理機構の採用により、高速で高い繰り返し精度を実現できます。
本装置はパネル製造工程において多くの実績があります。