高純度窒化硼素(PBN)

(パイロリティック・ボロン・ナイトライド)

PBNは、耐薬品性や高温強度に優れた超高純度のセラミックスです。このPBNの初の国産化に成功したのは、信越化学です。PBNはその特性を生かし、化合物半導体や分子線エピタキシー用ルツボをはじめとして、半導体やCIGS太陽電池用の高機能ヒーターなど、応用分野が拡大しています。原則受注生産となります。

用途

  • 化合物半導体結晶製造用ルツボ
  • 分子線エピタキシー用ルツボ
  • 半導体スパッタ装置用静電チャック機能付きヒーター
  • 真空、高温となる装置内の冶具、ヒーター
  • ヒーターの絶縁体
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  • 会社名:
    信越化学工業(株)
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    精密材料事業部 営業第一部
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