シリコンウエハーと同様にチョクラルスキー(Cz)法で融液成長可能で量産に向いた酸化物単結晶です。ウエハーもシリコンウエハーとほぼ同じような手法で加工可能です。口径は4インチないし6インチです。本酸化物単結晶は圧電性を有することが特長です。