ペリクル

(信越ペリクル)

1) LSI用:エキシマレーザー対応のフォトマスク用防塵カバーです。信越ペリクルは、シリコンウエハーやフォトマスク基板などの半導体関連分野で培ったクリーン技術、検査技術を最大限に駆使し、リソグラフィ工程の歩留まり向上に貢献しています。
2)FPD用:信越FPD用ペリクルは、先端LSI用ペリクルの知見を基に、独自技術により開発したLCD、OLEDの大型フォトマスク用防塵カバーです。第1~第10世代用までの各サイズを取り揃えています。

用途

  • 半導体リソグラフィ工程
  • FPD製造 リソグラフィ工程
この製品へのお問い合わせ
  • 会社名:
    信越化学工業(株)
  • 部署名:
    新規製品部 ペリクルグループ
  • 電話番号:
    03-3246-5345