ペリクル

1) LSI用：エキシマレーザー対応のフォトマスク用防塵カバーです。信越ペリクルは、シリコンウエハーやフォトマスク基板などの半導体関連分野で培ったクリーン技術、検査技術を最大限に駆使し、リソグラフィ工程の歩留まり向上に貢献しています。
２）FPD用：信越FPD用ペリクルは、先端LSI用ペリクルの知見を基に、独自技術により開発したLCD、OLEDの大型フォトマスク用防塵カバーです。第1～第10世代用までの各サイズを取り揃えています。