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高純度窒化硼素（ＰＢＮ）
パイロリティック・ボロン・ナイトライド
高純度窒化硼素（ＰＢＮ）
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PBNは耐熱性 (2400℃)、絶縁性 (300kV/mm≧)、超高純度 (≧99.999%)、低誘電正接 (Df: 0.0001以下)を兼ね備えた特殊なセラミックです。
このPBNの初の国産化に成功したのは信越化学であり、安定した品質と供給能力を提供できます。
PBNはその特性を生かし、化合物半導体や分子エピタキシー用ルツボをはじめとして、半導体製造用の高性能ヒーターや静電チャック付きヒーター(ESC)など応用分野が拡大しています。特に当社のヒーターは高温時の均熱性に優れることが特徴です。原則受注生産となります。
用途
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会社名:信越化学工業（株）
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部署名:精密材料事業部 営業第一部
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電話番号:03-6812-2430
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Email:pbn@shinetsu.jp