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信越化学积极投资光掩膜坯料事业


2018.10.11

 为了扩大光掩膜坯料事业,信越化学工业株式会社(总公司:东京,社长:齐藤恭彦)将实施约140亿日元的设备投资。

 此次投资将分别在武生工厂(福井县越前市)和直江津工厂(新泻县上越市)的旧工厂实施。武生工厂将新建厂房并强化高端ArF产品的生产设备,计划于2021年4月前竣工。另一方面,直江津工厂将强化作为事业核心的通用ArF产品的生产设备,计划在2019年年底前竣工。此次投资将使信越化学光掩膜坯料的生产能力提升30%。   随着半导体元件产量的增加和产品的不断小型化,无论是通用ArF产品还是高端ArF产品,光掩膜坯料的全球需求都在不断增长。信越化学将切实把握这些需求,进一步扩大事业规模。

【信越化学的光掩膜坯料事业】

 长久以来,信越化学一直致力于研究开发半导体制造工序中使用的材料,光掩膜坯料便是其中的一种,并于2009年将其商业化,在直江津工厂正式开始了生产。2016年,武生工厂也开始生产该产品,在切实履行向客户提供优质产品这一企业责任的同时,通过在两个生产据点进行生产力图达到分散事业风险的目的。   在事业步入正轨后,信越化学开始推进高端产品的开发工作以满足客户需求。最终,我们成功地开发出了利用高精度微细加工技术生产的光掩膜坯料。信越化学的这一高端光掩膜坯料被认定为全球标准产品。

【光掩膜坯料】

 是半导体制造工序中使用的光掩膜的材料。在硅晶片上绘制电路时,会使用光掩膜版作为电路的原版。

 
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