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信越化学加快氮化镓(GaN)外延生长用基板及相关产品的商业化步伐


2022.05.18

信越化学工业株式会社(总公司:东京,社长:斋藤恭彦,以下简称信越化学)将扩充量产体制,以实现GaN相关基板及外延膜产品的商业化。

信越化学于2019年与Qromis, Inc.(总公司:美国加利福尼亚州、CEO:Cem Basceri、以下简称Qromis公司)签订了高质量、翘曲度低,可制备GaN膜的基板材料(QST基板)的许可证合同。
QST基板最适合CMOS工艺,利用其特长,可以用于要求耐压1800V以上的功率器件、5G和5G后代产品的RF器件、以及微型LED显示器等。信越化学对QST基板进行了独有的改良,完善了满足功率器件和高频器件两方要求的6英寸、8英寸GaN外延生长用基板的供给体制。通过与Qromis公司合作,在进一步推高质量的同时,为满足当前急速的需求扩大而进行了投资,以达到生产能力翻倍。

此外,生产半导体晶圆的子公司信越半导体株式会社(总公司:东京,社长:秋谷文男,以下简称信越半导体)接受了三垦电气株式会社(总公司:埼玉县新座市,社长:髙桥广,以下简称三垦电气)关于GaN外延生长的技术提供。通过该合同,信越半导体可以在日本国内外从事用于功率器件、高频器件及发光器件等GaN外延基板产品的生产和销售。

GaN半导体是电动汽车等移动出行工具的不断先进化、5G及数字化等所要求的高特性器件和节能器件,今后其需求有望大幅扩大。

信越化学及信越半导体等本公司集团公司未来将提供包括300㎜在内的大口径GaN相关产品,为实现能够有效利用能源的可持续发展社会作出贡献。

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