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現在の仕事について教えてください。

半導体単結晶シリコンウェハーの物性研究に携わっています。一見同じ様に見えるシリコンウェハーですが、お客様のプロセスに応じてエピタキシャルやアニールなど性質の異なるウェハーが用いられており、加えてデバイスごとに個別の熱処理が設定されているため、ウェハー中の酸素析出や強度などの特性に差が生じます。私は、各プロセスでの特性の評価や、より付加価値の高いウェハーを提案するための研究・開発を行っています。

あなたの忘れられない仕事、一番印象に残っている仕事は何ですか?

シリコンウェハーは単一の部門のみでは作ることが出来ない材料で、結晶引上げや加工といった多くの部門の協力が必要となります。数年前、ウェハー品質に大きく影響する特性の改善に取り組みました。通常では用いられていない特殊ウェハーの製造が必要であり、製造工程への影響が懸念されました。各部門の方と繰り返し打合せをさせて頂き、安全性を確認しながらラインを構築していきました。途中、製造現場への説明不足が指摘されるなど、対応に苦慮しましたが、普段の研究だけでは見えない「製品を造る」ということがどういう事なのかを教わったように感じます。

「信越化学工業の魅力」について教えてください。

身近なところでは、人材育成に対する考え方でしょうか。シリコンをはじめとする半導体デバイスは古くから盛んに研究が行われている分野です。業務上必要であれば、過去の膨大な論文を自由に取り寄せることが可能ですし、大抵の学会聴講は認められます。特に重要性の高い場合は、国際学会の聴講も許可される場合があります。少なくない経費が掛かりますが、この様な環境下で蓄積される知識は研究には欠かせない財産です。

PROFILE 岡 鉄也 2005年入社 半導体 磯部研究所 開発一部 工学系研究科環境機能工学専攻

学生時代に熱中したこと

究極の一杯を求めて創作を繰り返しました。温度や配合の最適値を求めるプロセスは、実験によく似ています。

こだわりの仕事ツール

評価用の簡易洗浄機によるウェハー洗浄の様子です。高い清浄度を確保するための大切な作業です。

社員の休日

群馬ではラフティング等のアウトドアスポーツが楽しめます。急流を滑り降りる爽快感は最高でした。

社員の一日