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精密材料事業部

営業第一部

取り扱い製品
光ファイバー用プリフォーム、酸化物単結晶（リチウム・タンタレート）、超高純度窒化ホウ素（PBN）
お問い合わせ先
電話：03-3246-5223　FAX：03-3246-5366

 

営業第二部

取り扱い製品
LSI 用合成石英フォトマスク基板、液晶用合成石英フォトマスク基板、合成石英ウェハー基板、光学レンズ用合成石英インゴット、高純度有機金属化合物（TMG、TMA 、TMI 、TEG 、DMZ 、DEZ 、TBP ）
お問い合わせ先
電話：03-3246-5222　FAX：03-3246-5366

 

合成石英
合成石英は、酸素、水素、ケイ素化合物を原料に製造されます。光ファイバーをはじめ、半導体の回路書き込みに使われるLSI用フォトマスク基板やステッパー用レンズ、液晶表示パネル（LCD）用の大型フォトマスク基板などに利用され、高度情報化社会の発展を支えています。信越グループではケイ素化学のノウハウをもとに、天然石英よりも純度の高い合成石英の量産化に世界で初めて成功。IT産業界にとって不可欠な材料となっています。
直径170mm×長さ2,000mmの光ファイバー用プリフォーム。1本で約3,000ｋｍの光ファイバーになります。 LSI用、液晶用合成石英フォトマスク基板

不純物含有量「１０億分の１」の超高純度の「ガラス」

地殻を構成する主要成分の中で、もっともたくさんあるのが酸素。その次ぎがケイ素。この２つの元素が自然の中で結合してできたのが「石英」で、その結晶は「水晶」です。摂氏２０００度を超える高温で、この水晶を溶かして作り出されたのが高純度の石英ガラスです。信越グループでは、水晶を原料とせずに高純度に精製された原料から人工的に合成して、不純物の含有量を１０億分の１（ｐｐｂ）レベルに抑える技術を確立。超高純度の合成石英を作り出しています。

 

１００ｋｍ先まで光が届く驚異の透明度。

石英ガラスは高純度で、透明性が高く、光の透過性に優れているのが特色。一般の板ガラスでは光が不純物などに乱反射して約２ｍで減衰してしましますが、石英ガラスなら約１００ｋｍまでとどきます。また耐熱性にも優れ、一般のガラスが数百度で溶けるのに比べ、摂氏１０００度を超える熱を加えてもほとんど伸び縮みしません。

 

この情報も、「合成石英」の道が届けています。

  • 光ファイバー
石英ガラスの優れた光透過性を生かし、光のデジタル信号を通す通信ケーブルに使われています。光ファイバーは断面の直径が１２５μｍのきわめて細い線で、しかも内部は直径約１０μｍの光の通り道「コア部」とそれを取り巻く「クラッド部」という２重構造になっています。

  • 半導体製造用器具
半導体は高い精度が要求されるため、その製造工程で使われる器具にも高い純度と精度が要求されます。このため単結晶シリコンの製造や半導体の基板となるシリコン・ウェーハの焼結（酸化膜形成）工程や拡散工程などでは、さまざまな合成石英製品が利用されています。

  • フォトマスク基板
１辺数ｃｍの四角の中に数千～数十万にのぼる回路を集めた「集積回路」を、正確にシリコン・ウェーハに焼き付けるには、きわめて高い精度が求められます。そのため、集積回路のネガフィルムにあたる「フォトマスク」にも、高精度・高純度が求められます。そのためフォトマスク基板には、熱によるゆがみがほとんどなく、光透過性に優れる合成石英が活躍しています。

  • 液晶ディスプレイ
電圧の変化によって光の透過率をコントロールして、精細な階調の表現などに優れた機能を発揮している液晶ディスプレイ。そのディスプレイパネルへの精密な回路の焼き付けに高純度の合成石英が利用されるほか、液晶をはさむガラスにも耐熱性、光透過性に優れる合成石英が利用されています。
液晶画面の大型化を支える大きな合成石英の基板づくり。
近年、ディスプレイ市場はブラウン管に代わってフラットパネルが脚光を浴びています。
フラットパネルと言えば、ＰＤＰ、有機ＥＬなどさまざま方式が登場して、注目されてます。その中で、最も中心に考えられているのが液晶パネルです。すでに液晶パネルは、ノートパソコン、モニターにかなり使われており、今後、テレビへの採用拡大が見込まれています。
こうして、液晶パネルが脚光を浴びてきた技術的背景の一つには、合成石英大型フォトマスク基板が全面的に採用されていることがあげられます。フォトマスクは、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）回路への転写とCF（カラーフィルター）への転写に分けられますが、どちらも微細なパターンを描くことが求められており、当社の合成石英は紫外線透過性、低熱膨張係数、化学的安定性などの特長に優れています。また、基板の超均一な平坦度（フラットネス）および超低欠陥の表面など、高度な研磨加工技術が高く評価されています。
現在、主なサイズとして330mm×450mm～1220mm×1400mmまで対応しており、当社はこの分野で品質、供給力において圧倒的リードを保っています。さらに、次世代用としてサイズの大型化、高品質化に向けてたゆまぬ努力と挑戦を続けています。
酸化物単結晶（LT/リチウム・タンタレート）
LT単結晶とウェハー
LTは、電波をふるいにかけ特定の周波数のみをピックアップするSAWデバイスに用いられ、移動体通信機器やテレビ、VTRのチューナーなどに使われています。酸化物単結晶は、今日の携帯電話の普及に貢献するなど、現代の情報化社会において大きな役割を果たしています。
超高純度窒化ホウ素（PBN／パイロリティック・ボロン・ナイトライド）
超高純度窒化ホウ素（PBN）は
半導体製造工程で使用されています。
PBNは、耐薬品性や高温強度に優れた超高純度のセラミックスです。このPBNの初の国産化に成功したのも、信越化学です。
PBNはその特性を生かし、化合物半導体や分子線エピタキシー用ルツボをはじめとして、半導体やCIGS太陽電池用の高機能ヒーターなど、応用分野が拡大しています。
<基本的にPBN製品は受注生産です>

高純度有機金属化合物（TMG、TMI、TMAなど）
高純度有機金属化合物
高純度有機金属化合物は、MOCVD法の薄膜用材料として用いられています。応用分野は、携帯電話に使用されるHEMT、HBTなどの高速デバイス、光通信やDVDなどに使用される半導体レーザー、ディスプレーに使用される白色・青色の超高輝度LEDなど、将来性のある幅広い分野にわたります。信越グループでは、化学会社として蓄積してきた合成・精製・分析技術を生かし、お客様に高純度な材料を供給しています。