高純度シラン
信越化学の高純度シラン類は、半導体絶縁膜、エピ膜等のエレクトニクス用途、光ファイバーの原料となるファイバー用途、ファインセラミックス等のケミカル用途と、幅広い用途に使われています。高度な精製技術、厳しい品質管理、そして徹底した容器管理等に支えられた純度の高さと安定供給で、お客様の多様なニーズにお応えし、厚い信頼をいただいています。
ケミカル用
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 外観 | 密度(g/cm³) | 融点（℃） | 沸点（℃） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| KA-03 | トリクロロシラン | SiHCl3 | 無色透明液体 | 1.34(20℃） | −126.6 | 31.8 |
| KA-04 | 四塩化ケイ素 | SiCl4 | 無色透明液体 | 1.48(20℃） | −68.8 | 57.6 |
エレクトニクス用
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 分子量 | 外観 | 密度(g/cm³) | 融点（℃） | 沸点（℃） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KAE-02 | ジクロロシラン | SiH2Cl2 | 101.01 | ＊ | 1.22(7℃） | −122.0 | 8.2 |
| KAE-03D | トリクロロシラン | SiHCl3 | 135.45 | 無色透明液体 | 1.34(20℃） | −126.6 | 31.8 |
| KAE-04 | 四塩化ケイ素 | SiCl4 | 169.90 | 無色透明液体 | 1.48(20℃） | −68.8 | 57.6 |
＊容器内（圧力0.2〜1.7kg/cm²G）では無色透明ですが、常温常圧下では無色のガス体です。
ファイバー用
| 商品名 | 化学名 | 分子式 | 分子量 | 外観 | 密度(g/cm³) | 融点（℃） | 沸点（℃） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| KAF-04 | 四塩化ケイ素 | SiCl4 | 169.90 | 無色透明液体 | 1.48(20℃） | −68.8 | 57.6 |
